17日，记者从中国科学技术大学获悉，该校光电子科学与技术安徽省重点实验室微纳光学与技术课题组教授王沛和副教授鲁拥华设计了一种光学超表面，将二维平面的位移信息映射为双通道偏光干涉的光强变化，实现了平面内任意移动轨迹的大量程、高精度的非接触感测。研究成果日前在线发表于《科学进展》。 纳米级长度和位移测量，是光学精密测量领域的重要基础研究课题，在半导体叠对误差测量、精密对准与跟踪等方面具有关键作用。传统的光学干涉仪虽然可以实现纳米及亚纳米的测量精度，但系统复杂、易受环境干扰。近年来，王沛、鲁拥华课题组基于微纳结构光场调控技术发展出了一些位移感测技术，实现了亚纳米的测量精度。但是这些一维位移测量技术在跟踪面内移动的应用中需要克服装配误差，限制了测量的稳定性和可靠性。 为此，课题组进一步提出了一种基于超表面光场调控的二维位移精密测量的光学新技术。研究人员设计了一种超表面，不仅可以实现二维的光学衍射，且能够同时定制每个衍射级次光场的偏振态，利用不同衍射级次组合的双通道偏光干涉，同时记录二维平面内的任意位移。通过相位解算算法从双通道偏光干涉光强中获得高精度、大量程的二维位移信息。实验证明该位移测量技术的精度可以达到0.3纳米，测量量程达到200微米以上。 研究人员介绍，该技术能够同时测得二维位移信息，可有效被用于跟踪二维平面内的任意复杂运动。课题组相关研究工作拓展了光学超表面的应用领域，提升了精密位移光学传感技术的可靠性和集成度，展示了超表面光场调控能力对传统光学技术的赋能作用。 ①凡本站注明稿件来源为：中国高新技术产业导报、中国高新网、中高新传媒的所有文字、图片和音视频稿件，版权均属本网所有，任何媒体、网站或个人未经本网协议授权不得转载、链接、转贴或以其他方式复制发表。已经本网授权使用作品的，被授权人应在授权范围内使用，并注明“来源：中国高新网、中高新传媒或者中国高新技术产业导报”。违反上述声明者 ，本网将追究其相关法律责任。 ② 任何单位或个人认为本网站或本网站链接内容可能涉嫌侵犯其合法权益，应该及时向本网站书面反馈，并提供身份证明，权属证明及详细侵权情况证明，本网站在收到上述文件后，将会尽快移除被控侵权的内容或链接。云南厨峰不锈钢整体橱柜华天环保气动机构印刷机平面扭力 |